Lexikon Erklärung: Integrierte Schaltungen
Bis in die 60er Jahre waren die technischen Möglichkeiten durch die Größe der Röhren und der Transistoren begrenzt; denn stets versuchten die Ingenieure, die Geräte so klein wie möglich zu halten. Den ersten Ansatz zu einem integrierten Schaltkreis machte Siegmund Loewe im Jahre 1926, und der erste Halbleiter-Schaltkreis wurde 1958 von Jack Kilby hergestellt. Er enthielt mehrere Transistoren in einem Stück Halbleitermaterial. Allerdings mussten sie von Hand miteinander verbunden werden.
Einen entscheidenden Fortschritt brachte 1959 die Planartechnik, mit den Transistoren unter Einsatz fotografischer Methoden auf ein Siliziumplättchen geätzt werden. Das Silizium über den aktiven Regionen wird in nicht leitendes Silizium-Dioxid oder – Nitrid umgewandelt. Die so entstandenen Transistoren waren bei geringer Bauhöhe sehr robust und leicht miteinander zu verbinden. Dank der Fortschritte in der Planartechnik kann man seit 1962 Transistoren mit Metallbahnen verbinden. Die ersten echten integrierten Schaltkreise, die „Chips“ revolutionierten die Elektronik.